求一套完成的单晶线切工艺.

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/06/16 10:09:25
求一套完成的单晶线切工艺.
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可能最直接的就是控制碳化硅晶型了.碳化硅颗粒的形状直接关系到单晶硅、多晶硅建议还是采用颗粒分析仪对于单晶硅、多晶硅企业产品质量控制、工艺过程监控提供