硅片的等离子体扩散有哪些设备

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/17 22:33:11
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硅片的等离子体扩散有哪些设备
该组设备分自动上下料、硅片传输、系统整合部分和光伏硅片检测仪对硅片表面不平整度进行检测,同时等离子刻蚀 由于在扩散过程中,即使采用背靠背扩散