为什么要在真空下镀膜
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/11/01 07:15:41
x]n@/dD}8CB̧M BCPE`;\cBykvwfRUׅSɊOWV|Ƥk_)R_:ΰfug:!w0[|>Ħ*Y+8mC0
ЎX`F]5WWa3NBa[E}
:ǃ1W{UlAEyEQ
^\==c39`uSԉSX[2
:P9ꦤHM&P {{Pz}v
.Du
l$)$,% o:8ͷצשs$E4BjtvEVĈ5ѴqV(
WɗnNQ7DhX
Xɒpʸ=-:sOW
{'r;8VE4IFvrD.ȂQMta8p#N!t~:
为什么要在真空下镀膜
为什么要在真空下镀膜
为什么要在真空下镀膜
满意答案热心问友2011-04-19所谓真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内,采用一定方法加热待镀材料,使之蒸发或升华,并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺.在真空条件下成膜可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞,减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应(如氧化等),以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量,从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力.通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa,对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合,则要求压力更低