为什么管式PECVD在运行工艺做片子时有烧片现象

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/06/14 04:31:27
为什么管式PECVD在运行工艺做片子时有烧片现象
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为什么管式PECVD在运行工艺做片子时有烧片现象
为什么管式PECVD在运行工艺做片子时有烧片现象

为什么管式PECVD在运行工艺做片子时有烧片现象
有可能是片摆放位置不是很正,另一个就是由于石墨舟使用时间较长,产生温度不是很均匀造成烧片!

那家的炉子?
啥叫烧片?